电子压力传感器生产线

●光刻设备：通过光刻技术在硅片上制作出压力传感器的微结构图案，如敏感膜、电极等。

●蚀刻设备：利用化学或物理方法对硅片进行蚀刻，形成精确的压力敏感结构，如蚀刻出用于感知压力变化的薄膜腔体。

●镀膜设备：如磁控溅射镀膜机，在传感器表面镀上各种功能薄膜，如绝缘膜、导电膜等，以改善传感器的性能和稳定性。

●封装设备：将芯片与外壳进行封装，常见的有陶瓷封装、金属封装等，保证传感器内部结构不受外界环境影响。